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Highly stable self-aligned coplanar a-IGZO TFTs under high temperature stress
Ist Teil von
2018 9th Inthernational Conference on Computer Aided Design for Thin-Film Transistors (CAD-TFT), 2018, p.1-1
Ort / Verlag
IEEE
Erscheinungsjahr
2018
Quelle
IEEE Electronic Library Online
Beschreibungen/Notizen
We developed the high performance and stable, self-aligned (SA) coplanar amorphous In-Ga-Zn-O (a-IGZO) thin-film transistor (TFT). The device performance is stable under positive bias temperature stress at 125 °C. The shift register made of the SA coplanar a-IGZO TFTs exhibit very stable performance at 125 °C.