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A Generic Test Structure Heater Design And Characterization
International Report on Wafer Level Reliability Workshop, 1992, p.83-87
1992
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
A Generic Test Structure Heater Design And Characterization
Ist Teil von
  • International Report on Wafer Level Reliability Workshop, 1992, p.83-87
Ort / Verlag
IEEE
Erscheinungsjahr
1992
Quelle
IEEE Xplore
Sprache
Englisch
Identifikatoren
DOI: 10.1109/IWLR.1992.657988
Titel-ID: cdi_ieee_primary_657988
Format
–
Schlagworte
Automatic testing, Current measurement, Electrical resistance measurement, Pollution measurement, Probes, Semiconductor device testing, Stress measurement, Temperature measurement, Threshold voltage, Voltage measurement

Weiterführende Literatur

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