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Optical coatings for MEMS devices
CLEO/QELS: 2010 Laser Science to Photonic Applications, 2010, p.1-2
2010
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Optical coatings for MEMS devices
Ist Teil von
  • CLEO/QELS: 2010 Laser Science to Photonic Applications, 2010, p.1-2
Ort / Verlag
IEEE
Erscheinungsjahr
2010
Quelle
IEEE Xplore
Beschreibungen/Notizen
  • Microelectromechanical systems (MEMS) devices pose unique constraints for optical coatings. This paper discusses issues unique to coating MEMS devices and describes design changes necessary to coat a deformable mirror with 99.9% reflective dielectric coatings at 532 nm.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
DOI: 10.1364/CLEO_APPS.2010.AFB4
Titel-ID: cdi_ieee_primary_5499598
Format
–
Schlagworte
(230.3990) Micro-optical, (310.6870) Thin films, Coatings, Dielectric substrates, Microelectromechanical devices, Micromechanical devices, Mirrors, Optical devices, Optical films, other properties, Packaging, Stress, Testing

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