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CLEO/QELS: 2010 Laser Science to Photonic Applications, 2010, p.1-2
Ort / Verlag
IEEE
Erscheinungsjahr
2010
Quelle
IEEE Xplore
Beschreibungen/Notizen
Microelectromechanical systems (MEMS) devices pose unique constraints for optical coatings. This paper discusses issues unique to coating MEMS devices and describes design changes necessary to coat a deformable mirror with 99.9% reflective dielectric coatings at 532 nm.