Details

Autor(en) / Beteiligte

• Lamprecht, T.
• Beyeler, R.
• Dangel, R.
• Horst, F.
• Jubin, D.
• Meier, N.
• Weiss, J.
• Offrein, B.J.

Titel

Integrated micro-mirrors for compact routing of optical polymer waveguides

Ist Teil von

• 2009 IEEE LEOS Annual Meeting Conference Proceedings, 2009, p.20-21

Ort / Verlag

IEEE

Erscheinungsjahr

2009

Quelle

IEEE Electronic Library (IEL)

Beschreibungen/Notizen

• We report on micro-mirrors integrated in optical polymer waveguides. The mirrors are fabricated prior to the waveguide core definition step and are based on a selective wet-chemical metallization process.