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Design for reliability of MEMS/MOEMS for lightwave telecommunications
Ist Teil von
The 15th Annual Meeting of the IEEE Lasers and Electro-Optics Society, 2002, Vol.2, p.418-419 vol.2
Ort / Verlag
IEEE
Erscheinungsjahr
2002
Quelle
IEEE/IET Electronic Library (IEL)
Beschreibungen/Notizen
The influences of materials systems, processing subtleties, and reliability requirements on the design, flexibility, functionality and commercialization of MOEMS are complex. A tight interdependent feedback loop between component/subsystem/system design, fabrication, packaging, manufacturing and reliability is described as a strategy for building reliability into emerging MOEMS products while accelerating commercialization.