Details

Autor(en) / Beteiligte

• Seubert, A.
• Wünsch, G.

Titel

Ultraspurenanalytik in hochreinem Molybdän und Wolfram mit ionenchromatographischer Spuren-Matrix-Trennung: Teil 2. Ionenchromatographische Ultraspurenanalyse

Ist Teil von

• Analytica chimica acta, 1992, Vol.256 (2), p.331-348

Ort / Verlag

Elsevier B.V

Erscheinungsjahr

1992

Link zum Volltext

Quelle

Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect (DFG Nationallizenzen)

Beschreibungen/Notizen

• ( Ultratrace determination in high purity molybdenum and tungsten with ion chromatographic trace-matrix-separation. Part 1. Ultra trace analysis using ion chromatography.) The use of high-performance ion exchangers allows a trace-matrix-separation (SMT) directly followed by an ion chromatographic (IC) separation of the analytes. Based on the principles described in Part 1, a combined procedure IC-SMT-IC for metallic impurities in Mo and W is presented. Up to 12 metal traces (Fe, Cu, Pb, Zn, Ni, Co, Cd, Ca, Mn, Sr, Mg and Ba) can be determined in one run within 35 min. A special method for traces of U and Th is also given. Detection limits are typically 10–100 ng g −1 in the metal sample. Der Einsatz von Ionenaustauschern hoher chromatographischer Leistungsfähigkeit zur Spuren-Matrix-Trennung (SMT) ermöglicht eine direkt an den Trennschritt anschließende ionenchromatographische (IC) Auftrennung der Analyten. Das hier vorgestellte Verbundverfahren IC-SMT-IC auf Basis des in Teil 1 beschriebenen Trennschritts ermöglicht die Analyse von derzeit 14 Elementen in den Matrices Mo und W, wobei maximal 12 Elemente (Fe, Cu, Pb, Zn, Ni, Co, Cd, Ca, Mn, Sr, Mg und Ba) in einem Lauf bestimmbar sind. Die zur Verfügung stehende Elementpalette umfasst neben den α-Strahlern U und Th die Mehrzahl der in der Halbleiterfertigung störenden Elemente. Die erzielbaren Nachweisgrenzen liegen für die meisten Elemente zwischen 10 und 100 ng g −1 im Feststoff. Die Laufzeit einer Analyse beträgt zwischen 18 (2 Elemente) und 35 min (12 Elemente).