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Japanese Journal of Applied Physics, 2019-12, Vol.58 (12), p.120910
2019
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Investigation of pits in Ge-doped GaN grown by HVPE
Ist Teil von
  • Japanese Journal of Applied Physics, 2019-12, Vol.58 (12), p.120910
Ort / Verlag
IOP Publishing
Erscheinungsjahr
2019
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
  • The pits in Ge-doped GaN grown by hydride vapor phase epitaxy were carefully studied. It was found that the pit density increases with Ge concentration and dislocation density. Cross-sectional cathodoluminescence (CL) image shows that the embedment of pit occurs immediately after the cut off of Ge precursor. Planar-view CL image shows that the center of every pit is a dislocation, which is further confirmed by transmission electron microscopy measurements. Ge droplets were found in the center of pits of heavily doped samples. These results are beneficial for the study on the origin of pits in Ge-doped GaN.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0021-4922
eISSN: 1347-4065
DOI: 10.7567/1347-4065/ab56f5
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_7567_1347_4065_ab56f5
Format

Weiterführende Literatur

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