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Advanced materials research, 2012, Vol.403-408, p.3376-3379
2012

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Sensitivity to Over-Etching of Improved V-Shaped Microcantilever
Ist Teil von
  • Advanced materials research, 2012, Vol.403-408, p.3376-3379
Ort / Verlag
Trans Tech Publications Ltd
Erscheinungsjahr
2012
Link zum Volltext
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
  • In this paper we have analyzed the sensitivity to over-etching of our recently proposed improved V-Shaped microcantilever. For V-shaped microcantilever, the final length is very sensitive to over-etching because of the sharp corner at the free end of the cantilever. It has been observed that for different values of over-etching the improved V-shape microcantilever tip is more robust compared to the linear counterpart.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 1022-6680, 1662-8985
eISSN: 1662-8985
DOI: 10.4028/www.scientific.net/AMR.403-408.3376
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_4028_www_scientific_net_AMR_403_408_3376
Format

Weiterführende Literatur

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