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KRS: An Environmentally Robutst Resist Based on Fast Reaction kinetics
Journal of photopolymer science and technology, 1995, Vol.8 (4), p.525-534
1995
Volltextzugriff (PDF)

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
KRS: An Environmentally Robutst Resist Based on Fast Reaction kinetics
Ist Teil von
  • Journal of photopolymer science and technology, 1995, Vol.8 (4), p.525-534
Erscheinungsjahr
1995
Quelle
EZB-FREE-00999 freely available EZB journals
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0914-9244
eISSN: 1349-6336
DOI: 10.2494/photopolymer.8.525
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_2494_photopolymer_8_525
Format
–

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