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Effects of pupil discretization and Littrow illumination in the simulation of bright-field defect detection
Optics letters, 2009-06, Vol.34 (12), p.1840
2009
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Effects of pupil discretization and Littrow illumination in the simulation of bright-field defect detection
Ist Teil von
  • Optics letters, 2009-06, Vol.34 (12), p.1840
Erscheinungsjahr
2009
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0146-9592
eISSN: 1539-4794
DOI: 10.1364/OL.34.001840
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1364_OL_34_001840
Format
–

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