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Effect of Back Mold Grooves on Improving Uniformity in Nanoimprint Lithography
Japanese Journal of Applied Physics, 2007-09, Vol.46 (9S), p.6370
2007

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Effect of Back Mold Grooves on Improving Uniformity in Nanoimprint Lithography
Ist Teil von
  • Japanese Journal of Applied Physics, 2007-09, Vol.46 (9S), p.6370
Erscheinungsjahr
2007
Link zum Volltext
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0021-4922
eISSN: 1347-4065
DOI: 10.1143/JJAP.46.6370
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1143_JJAP_46_6370
Format
–

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