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GaAs/AlGaAs lensed light emitting diode by the meltback and regrowth in liquid phase epitaxy
Ist Teil von
Japanese Journal of Applied Physics, 1991-05, Vol.30 (5B), p.L910-L913
Ort / Verlag
Tokyo: Japanese journal of applied physics
Erscheinungsjahr
1991
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
AlGaAs micro-lens was fabricated for light emitting diode (LED) applications using the liquid phase epitaxy (LPE) meltback technique. The lenses can be used to enhance the optical power of AlGaAs/GaAs LED's. The meltback technique using the LPE provides simple fabrication procedures which is not easily achieved in the conventional lensed
structure.