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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Flexible LNO Thin Film SAWR Strain Sensor Based on Polyimide Substrate
Ist Teil von
  • IEEE sensors journal, 2023-10, Vol.23 (19), p.1-1
Ort / Verlag
New York: IEEE
Erscheinungsjahr
2023
Link zum Volltext
Quelle
IEEE Electronic Library (IEL)
Beschreibungen/Notizen
  • Flexible single crystal 0°YX LNO thin film is fabricated on polyimide substrate combining Crystal-Ion-Slicing (CIS) technology and benzocyclobutene (BCB) bonding method. By finite element method (FEM) simulation, surface acoustic wave resonator (SAWR) with Q factor of 493 is demonstrated by increasing the thickness of BCB layer. While applying compressively strain and tensile strain, the SAWR strain sensors show good performance with strain sensitivity of 587 Hz/με and wider strain range from -2231 με or 2241 με compared with our previous work in solidly mounted resonators (SMR) and memristor. The repeatability testing while applying compressively strain and tensile strain is performed at two strain states of 0 με and -1594 με, and 0με and 1599 με, respectively. As changing the strain value, the resonance frequency shows great consistency and displays good repeatability and high stability, indicating that the flexible LNO SAWR strain sensor has potentially applicable in flexible electronics system.

Weiterführende Literatur

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