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Polymerization shrinkage stress measurement for a UV-curable resist in nanoimprint lithography
Journal of micromechanics and microengineering, 2011-11, Vol.21 (11), p.115013
AMIRSADEGHI, Alborz
JAE JONG LEE
PARK, Sunggook
2011
Details
Autor(en) / Beteiligte
AMIRSADEGHI, Alborz
JAE JONG LEE
PARK, Sunggook
Titel
Polymerization shrinkage stress measurement for a UV-curable resist in nanoimprint lithography
Ist Teil von
Journal of micromechanics and microengineering, 2011-11, Vol.21 (11), p.115013
Ort / Verlag
Bristol: Institute of Physics
Erscheinungsjahr
2011
Link zum Volltext
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0960-1317
eISSN: 1361-6439
DOI: 10.1088/0960-1317/21/11/115013
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1088_0960_1317_21_11_115013
Format
–
Schlagworte
Cross-disciplinary physics: materials science
,
rheology
,
Exact sciences and technology
,
Materials science
,
Methods of nanofabrication
,
Nanolithography
,
Physics
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