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Reliability of thin SiO 2
Semiconductor science and technology, 1994-05, Vol.9 (5), p.989-1004
1994
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Reliability of thin SiO 2
Ist Teil von
  • Semiconductor science and technology, 1994-05, Vol.9 (5), p.989-1004
Erscheinungsjahr
1994
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0268-1242
eISSN: 1361-6641
DOI: 10.1088/0268-1242/9/5/002
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1088_0268_1242_9_5_002
Format
–

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