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Thermal plasmas for nanofabrication
Journal of physics. D, Applied physics, 2011-05, Vol.44 (17), p.174025
2011

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Thermal plasmas for nanofabrication
Ist Teil von
  • Journal of physics. D, Applied physics, 2011-05, Vol.44 (17), p.174025
Ort / Verlag
Bristol: IOP Publishing
Erscheinungsjahr
2011
Link zum Volltext
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
  • In this paper, we review the recent progress in nanofabrication by thermal plasmas, and attempt to define some of the most important issues in the field. For synthesis of nanoparticles, the experimental studies in the past five years are briefly introduced; the theoretical and numerical modelling works of the past 20 years are reviewed with some detailed explanations. Also, the use of thermal plasmas to produce nanostructured films and coatings is described. A wide range of technologies have been developed, ranging from chemical vapour deposition processes to new plasma spraying processes. We present an overview of the different techniques and the important physical phenomena, as well as the requirements for future progress.

Weiterführende Literatur

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