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Atomistic growth phenomena of reactively sputtered RuO 2 and MnO 2 thin films
Journal of applied physics, 2015-07, Vol.118 (1), p.15302
2015
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Atomistic growth phenomena of reactively sputtered RuO 2 and MnO 2 thin films
Ist Teil von
  • Journal of applied physics, 2015-07, Vol.118 (1), p.15302
Erscheinungsjahr
2015
Quelle
American Institute of Physics (AIP) Journals
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0021-8979
eISSN: 1089-7550
DOI: 10.1063/1.4926414
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1063_1_4926414
Format
–

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