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We report the temperature-dependent mechanical properties of nanofabricated silicon resonators operating in the megahertz range. Reduction of temperature leads to an increase of the resonant frequencies of up to 6.5%. Quality factors as high as 1000 and 2500 are observed at room temperature in metallized and nonmetallized devices, respectively. Although device metallization increases the overall level of dissipation, internal friction peaks are observed in all devices in the T=160–180 K range.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0003-6951
eISSN: 1077-3118
DOI: 10.1063/1.1316071
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1063_1_1316071
Format
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Weiterführende Literatur
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