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Microelectronics, 2008-12, Vol.39 (12), p.1485-1490
2008

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
High-performance PIN photodiodes on TMAH thinned silicon wafers
Ist Teil von
  • Microelectronics, 2008-12, Vol.39 (12), p.1485-1490
Ort / Verlag
Elsevier Ltd
Erscheinungsjahr
2008
Link zum Volltext
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
  • The electro-optical characteristics of PIN photodiodes fabricated on high-resistivity silicon substrates locally thinned by bulk micromachining techniques are discussed. Experimental results and numerical simulations demonstrate that devices fabricated by the proposed approach have leakage current, quantum efficiency and speed performance comparable to the best commercially available Si PIN photodiodes, with the additional advantage of possible back-side illumination, making them suitable for the implementation of two-dimensional arrays having a read-out electronic chip connected to the front-side.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 1879-2391
eISSN: 1879-2391
DOI: 10.1016/j.mejo.2008.04.009
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1016_j_mejo_2008_04_009

Weiterführende Literatur

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