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Study of interfaces and band offsets in TiN/amorphous LaLuO3 gate stacks
Microelectronic engineering, 2011-07, Vol.88 (7), p.1495-1498
MITROVIC, I. Z
SIMUTIS, G
DAVEY, W. M
SEDGHI, N
HALL, S
DHANAK, V. R
ALEXANDROU, I
WANG, Q
LOPES, J. M. J
SCHUBERT, J
2011
Volltextzugriff (PDF)
Details
Autor(en) / Beteiligte
MITROVIC, I. Z
SIMUTIS, G
DAVEY, W. M
SEDGHI, N
HALL, S
DHANAK, V. R
ALEXANDROU, I
WANG, Q
LOPES, J. M. J
SCHUBERT, J
Titel
Study of interfaces and band offsets in TiN/amorphous LaLuO3 gate stacks
Ist Teil von
Microelectronic engineering, 2011-07, Vol.88 (7), p.1495-1498
Ort / Verlag
Amsterdam: Elsevier
Erscheinungsjahr
2011
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0167-9317
eISSN: 1873-5568
DOI: 10.1016/j.mee.2011.03.051
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1016_j_mee_2011_03_051
Format
–
Schlagworte
Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties
,
Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties
,
Constant-composition solid-solid phase transformations: polymorphic, massive, and order-disorder
,
Cross-disciplinary physics: materials science
,
rheology
,
Electron and ion emission by liquids and solids
,
impact phenomena
,
Electron energy loss spectra
,
Equations of state, phase equilibria, and phase transitions
,
Exact sciences and technology
,
Impact phenomena (including electron spectra and sputtering)
,
Materials science
,
Phase diagrams and microstructures developed by solidification and solid-solid phase transformations
,
Physics
,
Specific phase transitions
,
Structural transitions in nanoscale materials
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