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Anti-adhesive layers on nickel stamps for nanoimprint lithography
Microelectronic engineering, , Vol.73-74, p.196-201

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Anti-adhesive layers on nickel stamps for nanoimprint lithography
Ist Teil von
  • Microelectronic engineering, , Vol.73-74, p.196-201
Ort / Verlag
Amsterdam: Elsevier Science
Link zum Volltext
Quelle
ScienceDirect Journals (5 years ago - present)
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0167-9317
eISSN: 1873-5568
DOI: 10.1016/s0167-9317(04)00098-x
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1016_S0167_9317_04_00098_X
Format
–
Schlagworte
Applied sciences, Electronics, Exact sciences and technology, Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology), Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices, Testing, measurement, noise and reliability

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