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Anti-adhesive layers on nickel stamps for nanoimprint lithography
Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73-74, p.196-201
PARK, Sunggook
SCHIFT, Helmut
PADESTE, Celestino
SCHNYDER, Bernhard
KÖTZ, Riidiger
GOBRECHT, Jens
2004
Volltextzugriff (PDF)
Details
Autor(en) / Beteiligte
PARK, Sunggook
SCHIFT, Helmut
PADESTE, Celestino
SCHNYDER, Bernhard
KÖTZ, Riidiger
GOBRECHT, Jens
Titel
Anti-adhesive layers on nickel stamps for nanoimprint lithography
Ist Teil von
Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73-74, p.196-201
Ort / Verlag
Amsterdam: Elsevier Science
Erscheinungsjahr
2004
Quelle
Elsevier ScienceDirect Journals
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0167-9317
eISSN: 1873-5568
DOI: 10.1016/s0167-9317(04)00098-x
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1016_S0167_9317_04_00098_X
Format
–
Schlagworte
Applied sciences
,
Electronics
,
Exact sciences and technology
,
Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology)
,
Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
,
Testing, measurement, noise and reliability
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