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Optimization tool for the performance parameters of thermoelectric microsensors
Ist Teil von
Sensors and actuators. A. Physical., 1993-03, Vol.36 (1), p.65-71
Ort / Verlag
Lausanne: Elsevier B.V
Erscheinungsjahr
1993
Link zum Volltext
Quelle
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect (DFG Nationallizenzen)
Beschreibungen/Notizen
A one-dimensional analytical optimization for thin-film thermoelectric microsensors is presented. The results provide a tool for the optimization of thermal resistance, sensitivity and detectivity as a function of geometrical dimensions for given material parameters. Curves are given that allow the performance parameters to be predicted for a variety of geometrical and material parameters.