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Determination of the composition of sputtered silcon oxynitride films by Auger electron spectroscopy and Rutherford backscattering spectrometry
Thin solid films, 1988-12, Vol.167 (1), p.L1-L6
1988

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Determination of the composition of sputtered silcon oxynitride films by Auger electron spectroscopy and Rutherford backscattering spectrometry
Ist Teil von
  • Thin solid films, 1988-12, Vol.167 (1), p.L1-L6
Ort / Verlag
Elsevier B.V
Erscheinungsjahr
1988
Link zum Volltext
Quelle
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect (DFG Nationallizenzen)
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0040-6090
eISSN: 1879-2731
DOI: 10.1016/0040-6090(88)90509-3
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1016_0040_6090_88_90509_3
Format
–

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