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Chemically assisted ion beam etching of gallium nitride
Journal of electronic materials, 1995-04, Vol.24 (4), p.229-234
Ping, A. T.
Youtsey, C.
Adesida, I.
Khan, M. Asif
Kuznia, J. N.
1995
Volltextzugriff (PDF)
Details
Autor(en) / Beteiligte
Ping, A. T.
Youtsey, C.
Adesida, I.
Khan, M. Asif
Kuznia, J. N.
Titel
Chemically assisted ion beam etching of gallium nitride
Ist Teil von
Journal of electronic materials, 1995-04, Vol.24 (4), p.229-234
Erscheinungsjahr
1995
Quelle
SpringerLink Journals - AutoHoldings
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0361-5235
eISSN: 1543-186X
DOI: 10.1007/BF02659680
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1007_BF02659680
Format
–
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