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Journal of electronic materials, 1995-04, Vol.24 (4), p.229-234
1995
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Chemically assisted ion beam etching of gallium nitride
Ist Teil von
  • Journal of electronic materials, 1995-04, Vol.24 (4), p.229-234
Erscheinungsjahr
1995
Quelle
SpringerLink Journals - AutoHoldings
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0361-5235
eISSN: 1543-186X
DOI: 10.1007/BF02659680
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1007_BF02659680
Format

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