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Comparative composition analysis of SiOx and SiNx thin films by AES, EDX and RBS
Fresenius' Journal of Analytical Chemistry, 1995-01, Vol.353 (5-8), p.639-641
1995
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Comparative composition analysis of SiOx and SiNx thin films by AES, EDX and RBS
Ist Teil von
  • Fresenius' Journal of Analytical Chemistry, 1995-01, Vol.353 (5-8), p.639-641
Ort / Verlag
Berlin: Springer
Erscheinungsjahr
1995
Quelle
SpringerLINK Contemporary (Konsortium Baden-Württemberg)
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0937-0633
eISSN: 1432-1130, 1618-2650
DOI: 10.1007/BF00321340
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1007_BF00321340
Format
–
Schlagworte
Composition and phase identification, Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties, Exact sciences and technology, Physics, Surfaces and interfaces, thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties), Thin film structure and morphology

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