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In situ spectroscopic ellipsometry as a sensor for hard coatings and steel nitriding
Surface and interface analysis, 2002-08, Vol.34 (1), p.681-685
Bonanni, A.
Stifter, D.
Hingerl, K.
Störi, H.
Werner, W. S. M.
Brenner, J.
Weithaler, C.
Gruska, B.
Prunel, G.
Delaire, V.
Sanvito, T.
2002
Volltextzugriff (PDF)
Details
Autor(en) / Beteiligte
Bonanni, A.
Stifter, D.
Hingerl, K.
Störi, H.
Werner, W. S. M.
Brenner, J.
Weithaler, C.
Gruska, B.
Prunel, G.
Delaire, V.
Sanvito, T.
Titel
In situ spectroscopic ellipsometry as a sensor for hard coatings and steel nitriding
Ist Teil von
Surface and interface analysis, 2002-08, Vol.34 (1), p.681-685
Ort / Verlag
Chichester, UK: John Wiley & Sons, Ltd
Erscheinungsjahr
2002
Quelle
Wiley
Beschreibungen/Notizen
In this work, where the major emphasis has been given to in situ and on‐line measurements, we extend the available experience in the field of spectroscopic ellipsometry to plasma‐assisted chemical vapour deposition (PACVD) hard coatings and diffusion layers on steel, namely TiN, TiCN, TiAIN and FexNy. Furthermore, Auger electron spectroscopy was carried out in order to correlate the spectroscopic ellipsometry data on an absolute scale to their composition. It could be shown that monitoring of whole standard industrial processes (up to 24 h) for the control of nitriding/deposition processes is easily achievable. Thus, the formation of compound layers, the effectiveness of sputtering and the nitriding process as well as the composition of hard coatings (TiN and compounds) can be determined in real time in order to control and tune on‐line the fabrication of PACVD hard coatings. Copyright © 2002 John Wiley & Sons, Ltd.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0142-2421
eISSN: 1096-9918
DOI: 10.1002/sia.1387
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1002_sia_1387
Format
–
Schlagworte
Applied sciences
,
Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.)
,
Cross-disciplinary physics: materials science
,
rheology
,
Exact sciences and technology
,
in situ monitoring
,
Materials science
,
Metals. Metallurgy
,
Methods of deposition of films and coatings
,
film growth and epitaxy
,
Physics
,
plasma-assisted chemical vapour deposition
,
spectroscopic ellipsometry
,
Surface hardening: nitridation, carburization, carbonitridation
,
Surface treatments
,
TiN
Weiterführende Literatur
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