Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Silicon semiconductor technology : processing and integration of microelectronic devices
- Ort / Verlag
- Wiesbaden : Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
- Erscheinungsjahr
- 2023
- Link zu anderen Inhalten
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783658410407, 365841040XTitel-ID: 9925121568406463
- Format
- XI, 264 Seiten; Illustrationen, Diagramme; 24 cm x 16.8 cm
- Systemstelle
- YCI
- Schlagworte
- Silicium, Halbleitertechnologie